Mechanism of gaseous - phase formation of the film alloys of Vl group metals from the carbonyls - 한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 - 한국전기전자재료학회 - KISS

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한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 Mechanism of gaseous - phase formation of the film alloys of Vl group metals from the carbonyls

Mechanism of gaseous - phase formation of the film alloys of Vl group metals from the carbonyls

N . O . lvanova, V . G . Syrkin, Dea Wha Soh, Sun Nam Chu

한국전기전자재료학회 1998.01

한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 vol. 1998 485-490(6pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001247522

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