본문 바로가기
216.73.217.86
216.73.217.86
결정의존성 식각 / 기판접합을 이용한 MEMS 용 구조물의 제작
Si Micromachining for MEMS-IR Sensor Application
박흥우(Heung Woo Park), 주병권(Byeong Kwon Ju), 박윤권(Yun Kwon Park), 박정호(Jung Ho Park), 김철주(Chul Ju Kim), 염상섭(S . S . Yom), 서상희(Sang Hee Suh), 오명환(Myung Hwan Oh)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-001247693
이 자료는 4페이지 이하의 자료입니다.
×