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18.97.14.86
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결정의존성 식각 / 기판접합을 이용한 MEMS 용 구조물의 제작
Si Micromachining for MEMS-IR Sensor Application
박흥우(Heung Woo Park), 주병권(Byeong Kwon Ju), 박윤권(Yun Kwon Park), 박정호(Jung Ho Park), 김철주(Chul Ju Kim), 염상섭(S . S . Yom), 서상희(Sang Hee Suh), 오명환(Myung Hwan Oh)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-001247693
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