결정의존성 식각 / 기판접합을 이용한 MEMS 용 구조물의 제작

박흥우; 주병권; 박윤권; 박정호; 김철주; 염상섭; 서상희; 오명환

한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 결정의존성 식각 / 기판접합을 이용한 MEMS 용 구조물의 제작

결정의존성 식각 / 기판접합을 이용한 MEMS 용 구조물의 제작

Si Micromachining for MEMS-IR Sensor Application

박흥우(Heung Woo Park), 주병권(Byeong Kwon Ju), 박윤권(Yun Kwon Park), 박정호(Jung Ho Park), 김철주(Chul Ju Kim), 염상섭(S . S . Yom), 서상희(Sang Hee Suh), 오명환(Myung Hwan Oh)

한국전기전자재료학회 1998.01

한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 vol. 1998 411-414(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001247693

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