본문 바로가기
216.73.217.86
216.73.217.86
AlCu 배선의 부식방지를 위한 fluorine 가스 처리연구
A study of the fluorine treatment for the anti corrosion after plasma etching of AlCu films)
Hwan Jun Kim, 김창일, 서용진, 권광호, 김태형, 장의구
UCI I410-ECN-0102-2008-560-001247764
이 자료는 4페이지 이하의 자료입니다.
×