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한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 AlCu 배선의 부식방지를 위한 fluorine 가스 처리연구
AlCu 배선의 부식방지를 위한 fluorine 가스 처리연구
A study of the fluorine treatment for the anti corrosion after plasma etching of AlCu films)
Hwan Jun Kim, 김창일, 서용진, 권광호, 김태형, 장의구
한국전기전자재료학회 1998.01
한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 1998권 383-386(4pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-001247764
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