Sputtering 압력에 따른 ( Ba , Sr )TiO3[ BST ] 박막의 구조 및 전기적 특성

Microstructure and Electrical Properties of ( Ba,Sr )TiO3[ BST ] Thin Films with Sputtering Pressure

신승창(Seoung Chang Shin), 이문기(Moon Kee Lee), 류기원(Ki Won Ryu), 배선기(Sun Gi Bae), 이영희(Young Hie Lee)

한국전기전자재료학회 1998.01

한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 1998권 379-382(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001247779

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