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한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 개량형 대향타겟스퍼터장치에 의한 Co-Cr 박막의 미세구조
개량형 대향타겟스퍼터장치에 의한 Co-Cr 박막의 미세구조
Microstructure of Co-Cr Thin Films Deposited by Improved Facing Targets Sputtering System
김경환(Kyung Hwan Kim), 손인환(In Hwan Son), 김명호(Myung Ho Kim), 김재환(Jae Hwan Kim), 중천무수(S . Nakagawa), 직강정언(M . Naoe)
한국전기전자재료학회 1998.01
한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 1998권 363-366(4pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-001247815
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