RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 SCT 박막의 제조 및 특성

Fabrication and Properties of SCT thin film by RF Magnetron Sputtering Method

김진사(Jin Sa Kim), 백봉현(Bong Hyun Paek), 김충혁(Chung Hyeok Kim), 최운식(Woon Sik Choi), 박용필(Yong Pil Park), 박건호(Geon Ho Park), 이준웅(Joon Ung Lee)

한국전기전자재료학회 1998.01

한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 vol. 1998 325-329(5pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001247906

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