온도변화에 따른 백금 실리사이드 - 엔 실리콘 접합의 전자터널링 특성 - 한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 - 한국전기전자재료학회 - KISS

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한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 온도변화에 따른 백금 실리사이드 - 엔 실리콘 접합의 전자터널링 특성

온도변화에 따른 백금 실리사이드 - 엔 실리콘 접합의 전자터널링 특성

Electron Tunneling Characteristics of PtSi-nSi Junctions accoding to Temperature Variations

장창덕(Chang Dug Jang), 이정석(Jung Suk Lee), 이광우(Kwang Woo Lee), 이용재(Yong Jae Lee)

한국전기전자재료학회 1998.01

한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 vol. 1998 87-91(5pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001249617

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