2차 미분 AES 스펙트럼에 의한 ONO 초박막의 화화구조 분석

Chemical Structure Ana~l~ysis on the ONO Superthin Film by Second Derivative AES Spectra

이상은(Sang Eun Lee), 윤성필(Sung Pil Yoon), 김선주(Seon Ju Kim), 서광열(Kwang Yell Seo)

한국전기전자재료학회 1998.01

한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 vol. 1998 79-82(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001249637

More

Cite Copy URL Bookshelf

This article is 4 pages or less.

Abstract

Keywords

Table of Contents

References (0)

[자료제공 : 네이버학술정보]