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한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 질화 , 재산화시킨 모스 절연막의 온도 변화에 따른 누설전류의 변화
질화 , 재산화시킨 모스 절연막의 온도 변화에 따른 누설전류의 변화
Temperature dependance of Leakage Current of Nitrided , Reoxided MOS devices
이정석(Jung Suk Lee), 장창덕(Chang Dug Jang), 이용재(Young Jae Lee)
한국전기전자재료학회 1998.01
한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 vol. 1998 71-74(4pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-001249657
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