MOD 법에 의해 제조된 NOx 가스용 반도체 박막센서의 특성 - 전기전자재료학회논문지 - 한국전기전자재료학회 - KISS

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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 MOD 법에 의해 제조된 NOx 가스용 반도체 박막센서의 특성

Candidate

MOD 법에 의해 제조된 NOx 가스용 반도체 박막센서의 특성

Characteristics of Semiconductor Thin Film NOx Sensor Fabricated by MOD Method

송수호 , 송민석 , 이재열 ( Soo Ho Song , Min Seok Song , Jai Yeoul Lee )

한국전기전자재료학회 1998.11

전기전자재료학회논문지 vol. 11 iss. 11 1001-1006(6pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001248685

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