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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 MOD 법에 의해 제조된 NOx 가스용 반도체 박막센서의 특성
KCI 후보
MOD 법에 의해 제조된 NOx 가스용 반도체 박막센서의 특성
Characteristics of Semiconductor Thin Film NOx Sensor Fabricated by MOD Method
송수호 , 송민석 , 이재열 ( Soo Ho Song , Min Seok Song , Jai Yeoul Lee )
한국전기전자재료학회 1998.11
전기전자재료학회논문지 11권 11호 1001-1006(6pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-001248685
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