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한국전기전자재료학회
E²M-전기 전자와 첨단 소재
테마 기획 / 자기 기록4 : 미세조직 자성박막의 제조 - 대향 타겟식 스퍼터법에 의한 박막의 구조 -
테마 기획 / 자기 기록4 : 미세조직 자성박막의 제조 - 대향 타겟식 스퍼터법에 의한 박막의 구조 -
송기봉 , 김경환 , 손인환 , , ( , , , Masahiko Naoe , Shigeki Nakagawa )
한국전기전자재료학회
1998.12
E²M-전기 전자와 첨단 소재
vol. 11 iss. 12
69-75(7pages)
UCI
I410-ECN-0102-2008-560-001249177
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