Regular Paper : A Study of Deposition Mechanism of Laser CVD SiO2 Film - Transactions on Electrical and Electronic Materials - 한국전기전자재료학회 - KISS

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한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Regular Paper : A Study of Deposition Mechanism of Laser CVD SiO2 Film

Candidate SCOPUS

Regular Paper : A Study of Deposition Mechanism of Laser CVD SiO2 Film

( Yung Kwon Sung ) , ( Jeong Myeon Song ) , ( Byung Moo Moon )

한국전기전자재료학회 2003.10

Transactions on Electrical and Electronic Materials vol. 4 iss. 5 33-37(5pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-003240061

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Quantitative analysis

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