자기 정열과 수소 어닐링 기술을 이용한 고밀도 트랜치 게이트 전력 DMOSFET의 전기적 특성 분석

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Analysis of Electrical Characteristics of High-Density Trench Gate Power DMOSFET Utilizing Self-Align and Hydrogen Annealing Techniques

박훈수 ( Park Hun Su ) , 김종대 ( Kim Jong Dae ) , 김상기 ( Kim Sang Gi ) , 이영기 ( Lee Yeong Gi )

한국전기전자재료학회 2003.10

전기전자재료학회논문지 vol. 16 iss. 10 853-858(6pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-003240298

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