RF 마그네트론 반응성 스퍼터링으로 제작된 ZnO / Glass 박막 특성

Candidate

Characteristics of ZnO / Glass Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering

박용욱 , 윤석진 , 최지원 , 김현재 , 정형진 , 박창엽 ( Yong Wook Park , Seok Jin Yoon , Ji Won Choi , Hyun Jai Kim , Hyung Jin Jung , Chang Yub Park )

한국전기전자재료학회 1998.10

전기전자재료학회논문지 vol. 11 iss. 10 833-841(9pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001250445

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