본문 바로가기
216.73.217.86
  • 회원가입
  • 로그인
  • 고객센터

지식을 담다. 지식을 나누다 KISS

Ai 검색 소개
Ai 검색 소개
상세검색
Ai 검색 소개
216.73.217.86
로그인
회원가입
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 고에너지 비소 이온주입후 2단계 열처리시 2차결함에 대한 연구
KCI 후보
고에너지 비소 이온주입후 2단계 열처리시 2차결함에 대한 연구
A Study on Secondary Defects in Silicon after 2-step Annealing of the High Energy As lon Implanted Silicon
윤상현 , 곽계달 ( Sahng Hyun Yoon , Kae Dal Kwack )
한국전기전자재료학회 1998.10
전기전자재료학회논문지 11권 10호 796-803(8pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-001250501
인용하기 URL 복사 보관함 담기
논문명
미리보기
×