2차 미분 Auger 스펙트럼을 이용한 ONO 초박막의 결합상태에 관한 연구

Candidate

A Study on the Chemical State in the ONO Superthin Film by Second Derivative Auger Spectra

이상은 , 윤성필 , 김선주 , 서광열 ( Sang Eun Lee , Sung Pil Yoon , Seon Ju Kim , Kwang Yell Seo )

한국전기전자재료학회 1998.10

전기전자재료학회논문지(J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng.) vol. 11 iss. 10 778-783(6pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001250536

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