고농도 붕소가 도핑된 실리콘 웨이퍼에서의 산소석출에 관한 연구 - 전기전자재료학회논문지 - 한국전기전자재료학회 - KISS

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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 고농도 붕소가 도핑된 실리콘 웨이퍼에서의 산소석출에 관한 연구

Candidate

고농도 붕소가 도핑된 실리콘 웨이퍼에서의 산소석출에 관한 연구

A Study on Oxygen Precipitation in Heavily Boron Doped Silicon Wafer

윤상현 , 곽계달 ( Sahng Hyun Yoon , Kae Dal Kwack )

한국전기전자재료학회 1998.09

전기전자재료학회논문지 vol. 11 iss. 9 705-710(6pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001250652

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