RF 헬리콘 플라즈마를 이용한 화학기상 증착기의 제작 - 전기전자재료학회논문지 - 한국전기전자재료학회 - KISS

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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 RF 헬리콘 플라즈마를 이용한 화학기상 증착기의 제작

Candidate

RF 헬리콘 플라즈마를 이용한 화학기상 증착기의 제작

Construction of CVD by using RF Helicon Plasma

신재균 , 현준원 , 박상규 ( Jae Gyun Shin , June Won Hyun , Sang Kyu Park )

한국전기전자재료학회 1998.08

전기전자재료학회논문지 vol. 11 iss. 8 607-612(6pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001252449

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