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한국전기전자재료학회 E²M-전기 전자와 첨단 소재 Fabrication of excimer laser annealed poly - si thin film transistor by using an elevated temperature ion shower doping

Fabrication of excimer laser annealed poly - si thin film transistor by using an elevated temperature ion shower doping

( Seung Chul Park , Duk Young Jeon )

한국전기전자재료학회 1998.11

E²M-전기 전자와 첨단 소재 vol. 11 iss. 11 22-27(6pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001251119

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