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한국전기전자재료학회
E²M-전기 전자와 첨단 소재
테마 기획 / PVD 기술 2 : 전자빔 여기 플라즈마 소스
테마 기획 / PVD 기술 2 : 전자빔 여기 플라즈마 소스
노승정 , 김태영
한국전기전자재료학회
1998.10
E²M-전기 전자와 첨단 소재
11권 10호
157-160(4pages)
UCI
I410-ECN-0102-2008-560-001251366
₩ 1,000
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