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한국전기전자재료학회 E²M-전기 전자와 첨단 소재 Preparation and Characterization of Thin Films by Plasma Polymerization of Hexamethyldisiloxane

Preparation and Characterization of Thin Films by Plasma Polymerization of Hexamethyldisiloxane

( Sang Hee Lee , Duck Chool Lee )

한국전기전자재료학회 1998.10

E²M-전기 전자와 첨단 소재 vol. 11 iss. 10 66-71(6pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001252247

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