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한국전기전자재료학회 E²M-전기 전자와 첨단 소재 Preparation of Paraelectric PLT Thin Films Using Reactive Magnetron Sputtering of Multicomponent Metal Target
Preparation of Paraelectric PLT Thin Films Using Reactive Magnetron Sputtering of Multicomponent Metal Target
( H . H . Kim , K . S . Sohn , L . M . Casas , R . L . Pfeffer , R . T . Lareau )
한국전기전자재료학회 1998.10
E²M-전기 전자와 첨단 소재 vol. 11 iss. 10 53-59(1pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-001252267
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