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한국전기전자재료학회 E²M-전기 전자와 첨단 소재 CHARACTERIZATION OF SrBi2Ta2O9 FERROELECTRIC THIN FILMS DEPOSITED AT LOW TEMPERATURES BY PLASMA - ENHANCED METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
CHARACTERIZATION OF SrBi2Ta2O9 FERROELECTRIC THIN FILMS DEPOSITED AT LOW TEMPERATURES BY PLASMA - ENHANCED METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
( N . J . Seong , S . G . Yoon , S . S . Lee )
한국전기전자재료학회 1998.09
E²M-전기 전자와 첨단 소재 11권 9호 71-71(1pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-001251568
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