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한국공업화학회
공업화학전망
우수논문발표상 초록 : 포스터 발표 2 / 규불화수소산을 이용한 LPD 에 의한 SiO2 박막 제조
우수논문발표상 초록 : 포스터 발표 2 / 규불화수소산을 이용한 LPD 에 의한 SiO2 박막 제조
박은희 , 정홍호 , 임헌성 , 홍성수 , 노재성
한국공업화학회
1998.12
공업화학전망
1권 2호
23-23(1pages)
UCI
I410-ECN-0102-2008-570-001241362
₩ 1,000
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