고전압 : 논문 16-7-15 ; 펄스 레이저 애블레이션이 결합된 고전압 방전 플라즈마 장치를 이용한 유전성 질화탄소 박막의 합성

김종일

한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 고전압 : 논문 16-7-15 ; 펄스 레이저 애블레이션이 결합된 고전압 방전 플라즈마 장치를 이용한 유전성 질화탄소 박막의 합성

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High Voltage Engineering : Formation of Dielectric Carbon Nitride Thin Films using a Pulsed Laser Ablation Combined with High Voltage Discharge Plasma

김종일 ( Jong Il Kim )

한국전기전자재료학회 2003.07

전기전자재료학회논문지 vol. 16 iss. 7 641-646(6pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-003240970

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Abstract

Keywords

High voltage discharge plasma

Dielectric carbon nitride thin film

Infrared spectroscopy

IR

X-ray diffraction

XRD

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