6H-SiC MOSFET과 디지털 IC 제작

오충완; 최재승; 송지헌; 이장희; 이형규; 박근형; 김영석

한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6H-SiC MOSFET과 디지털 IC 제작

Accredited

Fabrication of 6H-SiC MOSFET and Digital IC

오충완 ( Chung W. Oh ) , 최재승 ( Jae S. Choi ) , 송지헌 ( Ji H. Song ) , 이장희 ( Jang H. Lee ) , 이형규 ( Hyung G. Lee ) , 박근형 ( Keun H. Park ) , 김영석 ( Yeong S. Kim )

한국전기전자재료학회 2003.07

전기전자재료학회논문지 vol. 16 iss. 7 584-592(9pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-003241068

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High temperature annealing

Laser annealing

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