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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 CF4/Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
Accredited
CF4/Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
Etching Characteristics of Gold Thin Films using Inductively Coupled CF4/Cl2/Ar Plasma
장윤성 ( Yun Seong Chang ) , 김동표 ( Dong Pyo Kim ) , 김창일 ( Chang Il Kim ) , 장의구 ( Eui Goo Chang )
한국전기전자재료학회 2003.07
전기전자재료학회논문지 vol. 16 iss. 7 564-568(5pages)
UCI I410-ECN-0102-2009-560-003241104
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