RF 플라즈마 CVD 법에 의한 다이아몬드 박막의 합성 - 전기전자재료학회논문지 - 한국전기전자재료학회 - KISS

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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 RF 플라즈마 CVD 법에 의한 다이아몬드 박막의 합성

Candidate

RF 플라즈마 CVD 법에 의한 다이아몬드 박막의 합성

Synthesis of Diamond Thin Films by RF Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition

이상희 , 이덕출 ( Sang Hee Lee , Duck Chool Lee )

한국전기전자재료학회 1998.07

전기전자재료학회논문지 vol. 11 iss. 7 552-556(5pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-007352993

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