고주파 반응성 스퍼터링에 의해 제작된 InN 박막의 특성

Candidate

Characteristics of InN thin films fabricated by RF reactive sputtering

김영호 , 최영복 , 정성훈 , 홍필영 , 문동찬 , 김선태 ( Young Ho Kim , Young Bok Choi , Sung Hoon Chung , Pil Young Hong , Dong Chan Moon , Sun Tae Kim )

한국전기전자재료학회 1998.07

전기전자재료학회논문지 vol. 11 iss. 7 527-534(8pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-007352953

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