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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Al 합금막의 식각후 CHF3 처리에 의한 부식억제 효과
KCI 후보
Al 합금막의 식각후 CHF3 처리에 의한 부식억제 효과
The Effect of the Snti - corrosion by CHF3 Treatment after Plasma Etching of Al Alloy Films
김창일 , 권광호 , 윤용선 , 백규하 , 남기수 , 장의구 ( Chang Il Kim , Kwang Ho Kwon , Yong Sun Yoon , Kyu Ha Baek , Kee Soo Nam , Eui Goo Chang )
한국전기전자재료학회 1998.07
전기전자재료학회논문지 11권 7호 517-521(5pages)
UCI I410-ECN-0102-2009-560-007352933
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