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한국전기전자재료학회
E²M-전기 전자와 첨단 소재
Al 합금막의 식각후 CHF3 처리에 의한 부식억제 효과
Al 합금막의 식각후 CHF3 처리에 의한 부식억제 효과
김창일 , 권광호 , 윤용선 , 백규하 , 남기수 , 장의구
한국전기전자재료학회
1998.07
E²M-전기 전자와 첨단 소재
vol. 11 iss. 7
667-667(1pages)
UCI
I410-ECN-0102-2009-560-007352802
₩ 1,000
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