플라즈마 화학 기상 증착법으로 제작된 Diamond - Like Carbon 박막의 특성 - 전기전자재료학회논문지 - 한국전기전자재료학회 - KISS

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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 플라즈마 화학 기상 증착법으로 제작된 Diamond - Like Carbon 박막의 특성

Candidate

플라즈마 화학 기상 증착법으로 제작된 Diamond - Like Carbon 박막의 특성

Characterizations of Diamond - Like Carbon Films Prepared by the Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Method

김종탁 ( Chong Tak Kim )

한국전기전자재료학회 1998.06

전기전자재료학회논문지 vol. 11 iss. 6 465-471(7pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-007352579

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