Microelectromechanical system 소자 제작을 위한 유기금속분해법에 의한 압전성 PZT(53/47) 박막의 증착

Candidate

Deposition of Piezoelectric PZT(53/47) Film by Metalorganic Decomposition for Microelectromechanical Device

윤영수 , 정형진 , 신영화 ( Young Soo Yoon , Hyung Jin Jung , Young Hwa Shin )

한국전기전자재료학회 1998.06

전기전자재료학회논문지 vol. 11 iss. 6 458-464(7pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-007352564

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