2002 년도 하계학술대회 논문집 / 센서 , 박막재료 ( A ) : 과부하 방지용 마이크로머시닝 세라믹 박막형 압력센서의 제작

임병권; 최성규; 이종춘; 정귀상

한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 2002 년도 하계학술대회 논문집 / 센서 , 박막재료 ( A ) : 과부하 방지용 마이크로머시닝 세라믹 박막형 압력센서의 제작

2002 년도 하계학술대회 논문집 / 센서 , 박막재료 ( A ) : 과부하 방지용 마이크로머시닝 세라믹 박막형 압력센서의 제작

Proceeding of the KIEEME Annual Summer Conference 2002 : The Fabrication of a Micromachined Ceramic Thin - Film Pressure Sensor with High Overpressure Tolerance

임병권(Byoung Kwon Lim),최성규(Sung Kyu Choi),이종춘(Jong Chun Lee),정귀상(Gwiy Sang Chung)

한국전기전자재료학회 2002.01

한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 vol. 2002 iss. 1 731-734(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-003902031

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