2002 년도 하계학술대회 - 논문집 : 반도체재료 ( A ) : Ti - capped NiSi 형성 및 열적 안정성에 관한 연구

Proceeding of the KIEEME Annual Summer Conference 2002 : A Study on the Formation of Ti - capped NiSi and it`s Thermal Stability

박수진(Soo Jin Park),이근우(Keun Woo Lee),배규식(Kyoo Sik Bae),김주연(Ju Youn Kim)

한국전기전자재료학회 2002.01

한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 vol. 2002 288-291(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-003901574

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