BCl_3를 봉소의 공급원으로 하여 공구강의 표면에 PECVD 방식에 의해 TiBN 박막을 코팅하였다. TiBN박막의 미세조직은 TiN에 비해 상대적으로 치밀하여 Hv 5000이상의 고경도를 얻을 수 있었다. 박막의 경도와 밀착력은 BCl_3양에 따라 증가하여 41/h일 때 최대치를 나타냈는데 내마모성도 이 때가 가장 우수하였다. TiBN 코팅에 의해 금형의 수명을 크게 향상시킬 수 있었고 특히 다이캐스팅 금형에서 그 효과가 크게 나타났다.

During warm and hot forging process of steels or aluminum alloys, dies are subject to earty fracture, severe wear by thermo-mechanical stress. Especially, during the die-casting of aluminum alloys, the service life of dies is incredibly lowered. In this study we investigated the characteristics of TiBN films produced by PECVD. TiBN films showed very high hardness, excellent wear resistance, which could enhance the service life of die parts such as forging punch, die casting core pin successfully.