고전압 : 비열플라즈마를 이용한 CF4 분해에 미치는 혼합가스의 영향

Accredited

High Voltage Engineering : Effect of Mixed Gases on Decomposition Characteristic of CF4 by Non - Thermal Plasma

박재윤(Jae Yoon Park),정장근(Jang Gun Jung),김종석(Jong Seck Kim),김광수(Kwang Soo Kim),임근희(Keun Hee Lim)

한국전기전자재료학회 2002.06

전기전자재료학회논문지 vol. 15 iss. 6 543-550(8pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-004502811

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