Accredited
센서 기능성박막 : 이온선 스퍼터 증착법에 의하여 제조된 CrOx 의 전기적 특성
Sensor , Thin Film : The Electrical Characteristics of Chromium Oxide Film Produced by lon Beam Sputter Deposition
한국전기전자재료학회
2002.06