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상명대학교 산업과학연구소
산업과학연구
SOG ( Silicon - on - Glass ) 시스템 개발을 위한 다결정 실리콘 확산의 컴퓨터 모델링에 관한 연구
SOG ( Silicon - on - Glass ) 시스템 개발을 위한 다결정 실리콘 확산의 컴퓨터 모델링에 관한 연구
Computer Modeling of Polysilicon Diffusion for SOG ( Silicon - on - Glass ) System
이흥주(Hoong Joo Lee)
상명대학교 산업과학연구소
2001.12
산업과학연구
vol. 11
1-15(16pages)
UCI
I410-ECN-0102-2009-500-004948771
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