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18.97.9.171
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연마 공정에서 공구 접촉 압력의 능동 제어 연구
Active Control of Tool Contact Pressure in Polishing Process
전문식(M . S . Jeon),오창진(C . J . Oh),김성청(S . C . Kim),이응석(E . S . Lee),김옥현(O . H . Kim)
UCI I410-ECN-0102-2009-500-004949021
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