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한국공업화학회
한국공업화학회 연구논문 초록집
규불화수소산을 이용한 LPD 에 의한 SiO2 박막 제조
규불화수소산을 이용한 LPD 에 의한 SiO2 박막 제조
박은희 , 정흥호 , 임헌성 , 홍성수 , 노재성
한국공업화학회
1998.12
한국공업화학회 연구논문 초록집
vol. 1998
205-205(1pages)
UCI
I410-ECN-0102-2009-570-007307083
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