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한국공업화학회 한국공업화학회 연구논문 초록집 단결정 SiC 박막 성장에서 Voids 생성기구
단결정 SiC 박막 성장에서 Voids 생성기구
서영훈 , 김광철 , 남기석
한국공업화학회 1997.12
한국공업화학회 연구논문 초록집 1997권 151-151(1pages)
UCI I410-ECN-0102-2009-570-007303116
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