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한국공업화학회
한국공업화학회 연구논문 초록집
ECR 산소 플라즈마로 제조한 실리콘 산화막의 전기적 특성
ECR 산소 플라즈마로 제조한 실리콘 산화막의 전기적 특성
허정수 , 전법주 , 오인환 , 임태훈 , 정일현
한국공업화학회
1996.12
한국공업화학회 연구논문 초록집
vol. 1996
163-163(1pages)
UCI
I410-ECN-0102-2009-570-007291180
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