건식법 , 화학증식법 , 건식 / 화학증착법으로 제조한 실리콘 산화막의 특성

Characterization of Silicon Dioxide Films by Dry Oxidation , Chemical Vapor Deposition and Dry / CVD Oxidation

허정수 , 전법주 , 오인환 , 임태훈 , 정순형 , 정일현 ( Jung Soo Heo , Bup Joo Jeon , In Hwan Oh , Tae Hoon Lim , Soon Hyung Jung , Il Hyun Lim )

한국공업화학회 1996.12

한국공업화학회 연구논문 초록집 vol. 1996 173-173(1pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-570-007289653

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