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한국공업화학회 한국공업화학회 연구논문 초록집 열 CVD 법에 의한 ZnO 박막의 저온 합성 (3) - 수평형 반응기증의 성장속도 해석 -
열 CVD 법에 의한 ZnO 박막의 저온 합성 (3) - 수평형 반응기증의 성장속도 해석 -
Preparation of ZnO Thin Film by Thermal CVD PART 3 Growth Rate Analysis in Horizontal Reactor
양호열 , 문희 , 박홍철 ( Ho Yeul Yang , Hee Moon , Heung Chul Park )
한국공업화학회 1992.12
한국공업화학회 연구논문 초록집 1992권 95-95(1pages)
UCI I410-ECN-0102-2009-570-007360153
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