NO₂기체의 감지를 위한 sensor의 원료물질로 SnO₂를 사용하였으며 SnCl₄ 용액을 암모니아수로 침전시킨 후 공기중에 하소하여 SnO₂를 제조하였다. SnO₂의 특성을 XRD 및 IR로 연구하였으며 스크린-프린팅법으로 SnO₂후막소자를 제작하였다. 하소온도가 높을수록 SnO₂의 입자의 크기는 결정의 성장으로 증가하였다. 1000℃에서 하소된 SnO₂분말을 가지고 만든 소자를 700℃에서 열처리하여 제작된 SnO₂ 소자는 동작온도 250℃에서 NO₂기체에 대한 우수한 감지특성과 선택성을 나타내었다.

SnO₂ as raw material of sensor for NO₂ detection was prepared by precipitating SnCl₄ solution with aqueous ammonia followed by calcining in air. The characterization of SnO₂ was carried out using FT-IR and XRD, and SnO₂ thick film sensor was fabricated by screen-printing method. The paticle size of SnO₂ calcined at higher temperature increased due to the growth of crystalline. SnO₂ sensor fabricated by using SnO₂ sample calcined at 1000℃ followed by heat treatment at 700℃ exhibited excellent sensing characteristics and selectivity for NO₂ gas at the operating temperature of 250℃.