초박막 활성층은 유기 실리콘 화합물인 헥사메틸디실록산을 사용하여 플라즈마 중합에 의해 폴리 설폰 한외 여과 다공성 지지체 위에 증착시켜 제조하였으며 주사전자현미경(SEM)에 의해 방전 출력이 증가함에 따라 제조된 활성층의 두께를 관찰하였다. 방전 출력이 증가할수록 활성층의 두께가 증가하였으나 방전 출력이 30watt 이상에서 활성층의 두께는 일정하게 나타났다. 플라즈마 고분자의 화학 구조 특성을 알아 보고자 FT-IR 과 XPS spectrum을 관찰하였는 바, 제조된 플라즈마 고분자의 IR 특성 피크인 1110∼1000㎝^(－1)에 나타난 Si-O 피크가 증가하였고 Si 원소 성분이 증가하였다. 방전 출력을 달리하여 제조된 복합막의 수소, 질소, 산소, 이산화 탄소 기체에 대한 투과 실험을 수행한 결과, 방전 출력이 증가함에 따라서 질소에 대한 산소 및 이산화탄소 기체의 선택성이 향상되었으며 수소, 질소의 투과도는 감소하였다.

Thin active layers were deposited onto polysulfone ultrafiltration porous substrates by plasma polymerization of organosilicon compounds, hexamethyldisiloxane(HMDSO). The thickness of active layer was observed by SEM : With increasing the level of radio frequency power, the thickness of active layers was increased but kept constant over 30watt to 50 watt. The characteristics of chemical structure of plasma polymer were studied by FT-IR and XPS : With increasing level of radio frequency power, the characteristic FT-IR peak of plasma polymer, Si-O stretching(1100∼1000㎝^(－1)), and Si atomic composition were increased. Also, the permselectivities of oxygen and carbon dioxide over nitrogen were improved and the permeabilities of hydrogen and nitrogen were decreased with increasing the level of radio frequency power.