화학증착법을 통한 Y-Ba-Cu-iO계 고온 초전도 박막 제조에 있어서 산소 분압과 증착 온도에 관한 연구

양석우; 박정식; 김춘영; 신형식

전북대학교 공학연구원 공학연구 화학증착법을 통한 Y-Ba-Cu-iO계 고온 초전도 박막 제조에 있어서 산소 분압과 증착 온도에 관한 연구

A Study on the Oxygen Partial Pressure and the Deposition Temperature in the Preparation of Y-Ba-Cu-O High T Superconducting Thin Films by Chemical Vapor Deposition

양석우(Seog Woo Yang),박정식(Joung Shik Park),김춘영(Chun Yeong Kim),신형식(Hyung Shik Shin)

전북대학교 공학연구원 1991.12

공학연구 vol. 22 361-373(13pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-530-005909903

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