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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Ru/RuO2 금속 / 산화물 이중전극 위에 증착한 PZT 박막의 전기적 특성

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Ru/RuO2 금속 / 산화물 이중전극 위에 증착한 PZT 박막의 전기적 특성

Electrical Properties of PZT Thin Films Deposited on the Ru/RuO2 Metal / Oxide Hybrid Electrodes

정규원(Kyu Won Jeong),박영(Young Park),송준태(Joon Tae Song)

한국전기전자재료학회 2001.04

전기전자재료학회논문지 vol. 14 iss. 4 281-288(8pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-005892065

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