반도체 ( Semiconductor ) : 인가 바이어스 조건이 전기화학적 식각정지 특성에 미치는 영향

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Effects of Applied Bias Conditions on Electrochemical Etch - stop Characteristics

정귀상(Gwiy Sang Chung),강경두(Kyung Doo Kang),김태송(Tae Song Kim),이원재(Won Jae Lee),송재성(Jae Sung Song)

한국전기전자재료학회 2001.04

전기전자재료학회논문지 vol. 14 iss. 4 263-268(6pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-005892090

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